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磁控溅射膜4+3和4+4是什么意思
时间:2025-04-11 05:34:33
答案

磁控溅射膜中“4+3”和“4+4”表示膜系的结构和厚度。首先,“4”指的是钛靶材(Ti)的溅射时间,其形成一层TiN薄膜。接下来,“3”或“4”指的是氮气(N2)的溅射时间,其与TiN反应形成TiAlN薄膜。因此,“4+3”表示TiN(4秒)/TiAlN(3秒)的双层结构,而“4+4”表示TiN(4秒)/TiAlN(4秒)的三层结构。这些膜系中的不同厚度和组成提供了独特的性能,例如耐磨性、抗氧化性和耐腐蚀性,广泛应用于金属切割、成型和保护涂层等领域。

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