螺杆真空泵和油旋片真空泵是两种不同的真空泵,它们在结构、工作原理和应用场合上都有所不同。
首先,螺杆真空泵是一种利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它具有干式螺杆的结构,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能、免维修等优点。在制药、化工、半导体等对清洁真空要求较高的企业领域得到广泛应用。
其次,油式旋片真空泵是一种十分成熟可靠的真空泵,通常也被叫做油泵、机械泵、旋片泵等。其价格便宜真空度好,广泛应用于热处理、镀膜、质谱仪器、样品前处理、冷冻干燥、手套箱、泄露检测等对油蒸汽不太敏感的应用。同时,还常常被用作分子泵的前级泵。